超快激光纳米连接及其在微纳器件互连中的应用
演讲课题:超快激光纳米连接及其在微纳器件互连中的应用
演讲人:邹贵生
演讲摘要:
纳米连接是焊接与连接学科的新兴方向,涉及纳-纳、纳-微、纳-宏、纳-微-宏跨尺度的材料连接,包括纳米尺度材料的互连和用具有纳米特征的材料连接其它材料/元器件两个方向,在微纳电子元器件及其系统、微/纳光机电系统、医疗器械等封装制造中起到越来越重要的作用。基于超快激光制造的纳米连接是其重要发展方向,本报告重点介绍纳米颗粒、纳米线的超快激光辐照同质或异质互连及其在新型微纳原理器件高性能制造中的应用,以及基于超快激光纳米颗粒薄膜沉积的低温烧结连接新原理新技术及其功率器件高服役性能封装应用。